СЛОЕНОЙ СТЕНКОЙ

С 1969 г. за транзисторами по тому же технологическому пути двинулись лампы. И вот здесь, при попытках применить в производстве электронных ламп технологические приемы, созданные в полупроводниковой технике, были изобретены приборы нового класса. Они, подобно мифическим кентаврам, сочетали принцип действия и термостойкость ламп с технологией изготовления и габаритами транзисторов.

В технике — по крайней мере для стороннего наблюдателя — драматические события нечасты. Редко бывает, чтобы новый прибор вытеснил старый полностью. Идет длительная борьба за области применения. Из одних старое вытесняется новым, в других остается неуязвимым; наконец, под давлением нового старое начинает ускоренно эволюционировать, само кого-то вытесняет или «распахивает целину»… Если мобильность производства высока, возможны и колебания. Так, западная электроника сейчас совершает в какой-то степени поворот от полупроводниковой техники к вакуумной, ламповой. Самое же интересное происходит, когда возникают жизнеспособные гибриды. А возникают они, например, так.
На нее напыляется слой (пленка) металла 2, затем слой диэлектрика 3, затем второй слой металла 4 и второй слой диэлектрика 5. Потом в трех верхних слоях этой конструкции вытравливается круглая дырочка 6, вплоть до первого металлического слоя. Получается колодец с металлическим дном и диэлектрическими стенками. В одном месте эту стенку пересекает по окружности металлический поясок — край второй металлической пленки. Потом на всю систему в вакууме напыляется сверху более толстая третья металлическая пленка 7 — крышка колодца. Внутренний объем этого колодца, в котором создан вакуум, и есть электронная лампа. Катод ее — нижняя пленка, сетка — края средней, анод — верхняя.

Конечно, это не единственный вариант. Например, катод, сетка и анод могут быть расположены в одной плоскости (рис. 2). Электроны, эмиттирован-ные катодом 1, идут на анод 3 мимо сетки 2 по криво, [инейным траекториям. В варианте, показанном на рис. 3 (катод — 1, сетка — 2, анод — 3), электроды расположены на двух подложках. При взгляде на приведенные варианты «пленочных ламп» видно невооруженным глазом, как они удобны для реализации сериями на одной подложке. Если же на ней выполнены и пассивные элементы схемы (резисторы, конденсаторы), и соединительные проводники, то получается целая схема. Это и есть вакуумная интегральная схема (ВИС), прототип которой создан в 1969 году.

Добавить комментарий